氦質譜檢漏儀采用高純氦氣作為泄漏氣體，利用氣體分析儀檢測氦氣進行檢漏。是國內外真空容器檢漏的先進技術。與一般檢漏技術相比，氦質譜檢漏技術具有快速、準確、靈敏度高、無損等優(yōu)點。氦質譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。然而，通常選擇氦氣是因為它具有以下特性：
    1、空氣中氦氣的含量很少，只有1/200,000左右，很容易找到；
    2、氦分子小，重量輕，易于擴散，比其他氣體更容易通過泄漏點；
    3、氦離子荷質比小，易于質譜分析；
    4、氦氣無毒、無味，對大氣無污染。
    5、氦氣是惰性氣體，化學性質穩(wěn)定，不會腐蝕或損壞設備；
    6、氦氣無毒、不凝結，并且極難溶于水。
    由于氦氣具有上述特性，氦氣檢漏的應用已從科研院所走向工業(yè)企業(yè)乃至個體企業(yè)。可以說應用領域極其廣泛。推薦閱讀相關文章：高純氦氣玩火會爆炸嗎？